班新星,1986年4月,工学博士,讲师,硕士生导师,毕业于西安交通大学机械工程专业。目前为中国机械工程学会高级会员,The International Journal of Advanced Manufacturing Technology期刊审稿人,先后参与完成国家科技重大专项和国防基础科研项目3项,省部级课题3项,发表论文20余篇,其中SCI/EI收录6篇,申请授权发明专利5项。
主要研究方向:
精密和超精密加工技术
高端装备制造技术
光电测试技术
邮箱:banxx@haut.edu.cn
教育及工作经历:
[1] 2006.09-2010.06 郑州轻工业大学 机械设计制造及其自动化 本科
2. 2010.09-2013.06 郑州轻工业大学 机械设计及理论 硕士
3. 2015.09-2019.12 西安交通大学 机械工程 博士
4. 2019.12-至今 河南工业大学机电工程学院 教师
代表性科研项目:
1. 大口径平面快速抛光机床研制(2017ZX04022001-202-001),国家科技重大专项,2017.04-2019.12,科技部,经费1018万元,参与。2. 米级平面全口径抛光材料去除理论及纳米精度创成机制(TZ2016006-0501-03),国防基础科研科学挑战专题,2016.01-2020.12,国防科工局,经费100万元,参与。
3. 碳化硅晶片超精密抛光机理及工艺研究(22A460003),河南省教育厅自然科学项目,2022.01-2023.12,经费5万元,主持。
4. 精密光学干涉腔体结构设计与研制(H2021jd73),西安工业大学横向项目,2020.06-2021.12,经费10万元。
荣誉与奖励:
1. 大口径平面快速抛光机床研制(2017ZX04022001-202-001),国家科技重大专项,2017.04-2019.12,科技部,经费1018万元,参与。
2. 米级平面全口径抛光材料去除理论及纳米精度创成机制(TZ2016006-0501-03),国防基础科研科学挑战专题,2016.01-2020.12,国防科工局,经费100万元,参与。
3. 碳化硅晶片超精密抛光机理及工艺研究(22A460003),河南省教育厅自然科学项目,2022.01-2023.12,经费5万元,主持。
4. 精密光学干涉腔体结构设计与研制(H2021jd73),西安工业大学横向项目,2020.06-2021.12,经费10万元。
代表性论文与专利:
[1] Ban Xinxing, Zhao Huiying, Zhao Shijie, et al. Effect of geometry error on accuracy of large-diameter pads used for CMP dressing[J]. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2019, 100(5-8): 1505-1520. (SCI)
[2] Ban Xinxing, Zhao Huiying, Zhu Xueliang, et al. Improvement and application of pad conditioning accuracy in chemical mechanical polishing[J]. Optical Engineering, 2018, 57 (09): 1-11. (SCI)
[3] Ban Xinxing, Zhao Huiying, Zhu Xueliang. A novel conditioning method for pad profile accuracy in full aperture polishing[J].: SPIE, 2021, 117610N: 1-7. (EI)
[4] Ban Xinxing, Zhu Hongyu, Zhang Zhongwei, et al. Analysis of wear non-uniformity of pad in full aperture polishing[J].: SPIE, 2020, 115680F: 1-7. (EI)
[5] 中小口径柱形元件微小孔在位精密测量装置及方法[P]:中国,201710400530.9. 2019-04-12.(发明专利)
[6] 环形线锯用自动张紧结构装置[P]:中国,201610258261.2. 2018-04-10.(发明专利)
[7] 一种精密丝杠驱动式环型气体静压导轨[P]:中国,201611155890.9. 2018-12-07.(发明专利)